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Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器
對(duì)于大數(shù)額訂單,，Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器能為用戶提供可重復(fù),、可靠,、經(jīng)濟(jì)的氣體流量控制方案,。專為原始設(shè)備制造商（OEM）無(wú)應(yīng)力設(shè)備集成而設(shè)計(jì)的BASIS輕便靈巧,、內(nèi)置高精度MEMS傳感器,、并具有艾里卡特*的快速閥門控制。
·可靠,。Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器絕不會(huì)讓您感到失望,，NIST可溯源的精度與重復(fù)性使其在工作第700天時(shí)仍像第一天一樣。
·靈敏,。您不會(huì)再因?yàn)閴毫Ψ逯刀鴼Я艘徽臁?/span>Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器具有控制速度和閥門調(diào)節(jié),，能帶給用戶的益處將遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出預(yù)期。
·兼容,。Alicat BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用范圍相當(dāng)廣,，輕便靈巧、多氣體標(biāo)定,、模擬及數(shù)字雙重通訊將為您的項(xiàng)目設(shè)計(jì)提供更大的靈活性,。
性能
·可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm,、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
·可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
·校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）
·可重復(fù)性：0.5%滿量程
·標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
·預(yù)熱時(shí)間：70ms,，達(dá)到完整精度
工作條件
·兼容氣體：空氣、氬氣,、二氧化碳,、氮?dú)狻⒀鯕?、一氧化二氮（可通過(guò)串行連接選擇氣體）,；訂購(gòu)時(shí)還可以選擇氦氣或氫氣校準(zhǔn)（僅使用一種氣體）
·工作溫度：0°C至+50°C
·大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：對(duì)于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對(duì)于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
·耐受壓力：175 psig（190 psia）
·STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）
